Вакуумные затворы

Вакуумные плоские шиберные затворы предназначены для перекрытия компонентов вакуумной системы, обеспечивая необходимую последовательность вакуумных процессов.

Применяются на оборудовании с фланцами большого диаметра, обеспечивая максимальную проводимость. Затворы изготавливаются с различными типами вакуумных фланцев ISO. Возможный вид привода: ручной, пневматический, электромеханический. Уплотнение привода сильфонное. Затворы изготавливаются из нержавеющей стали. Конструкция затвора позволяет производить ТО и ремонт без демонтажа затвора из вакуумной системы.

Количество циклов до первого обслуживания 10 000 - 100 000.
Позиция установки любая.

Затворы серии СС с ручным приводом

Тип фланцев

KF / ISO-K / ISO-F / CF

DN

25-400 мм (затворы от 400 до 1250 по запросу)

Диапазон рабочего давления

1*10-6 Па до 1,2*105 Па

Максимальный перепад давления

3*103 Па

Уровень течи

1,3*10-7 Па*л/с

Максимальная рабочая температура

в открытом положении 200 оС

в закрытом положении 150 оС

Затворы серии CCD с электромеханическим приводом

Тип фланцев

KF / ISO-K / ISO-F / CF

DN

25-400 мм (затворы от 400 до 1250 по запросу)

Диапазон рабочего давления

1*10-6 Па до 1,2*105 Па

Максимальный перепад давления

3*103 Па

Уровень течи

1,3*10-7 Па*л/с

Максимальная рабочая температура

в открытом положении 200 оС

в закрытом положении 150 оС

Напряжение питания

DN63-250:220В 50Гц, 25Вт или 380В, 50Гц, 25Вт

DN320-400:220В 50Гц, 40Вт или 380В, 50Гц, 40Вт

Скорость срабатывания

DN63-250: ≤50 сек; DN320-400: ≤60 сек

Индикаторы положения:

открыт/закрыт (микропереключатель)

Затворы серии CCQ с пневматическим приводом

Тип фланцев

KF / ISO-K / ISO-F / CF

DN

25-400 мм (затворы от 400 до 1250 по запросу)

Диапазон рабочего давления

1*10-6 Па до 1,2*105 Па

Максимальный перепад давления

3*103 Па

Уровень течи

1,3*10-7 Па*л/с

Максимальная рабочая температура

в открытом положении 200 оС

в закрытом положении 150 оС

Напряжение питания

220В 50Гц, 6Вт или 24В, 3Вт

Скорость срабатывания

DN63-250: ≤6 сек; DN320-400: ≤10 сек

Индикаторы положения:

открыт/закрыт (магнитный)

Сжатый воздух

(пневматические затворы)

DN63-200: 0,4-0,7 МПа

DN250-400: 0,5-0,7 МПа