Вакуумные турбомолекулярные насосы серии F и FF

Вакуумные турбомолекулярные насосы предназначены для создания и поддержания высокого вакуума. Получение вакуума происходит посредством сообщения молекулам откачиваемого газа дополнительной скорости в направлении откачки вращающимся ротором. Насос не может самостоятельно откачивать газ, так как предназначен для работы в паре с форвакуумным насосом. Вакуум, получаемый насосом, - от 10 ?2 Па до 10?8 Па (10?10 мбар; 7.5 ?11мм рт ст)
Турбомолекулярные насосы широко используется во многих отраслях промышленности, исследовательских физических установках, в установках для нанесения покрытия и тонких пленок, в масспектрометрах, течеискателях, и других установках с небольшими газовыми потоками.

Наименование FF-63/70EFF-100/110EF-150/450FF-160/620EFF-160/700E
Скорость откачки, л/с 62 110 450 600 700
Степень сжатия 2x106 (N2) 4x103 (H2) 108 (N2) 5x102(H2) 108 (N2) 102(H2) 109 (N2) 6x103(H2) 109 (N2) 6x103(H2)
Предельное давление, Па ISO: 5x10-5 CF: 8x10-6 ISO: 6x10-6 CF: 6x10-7 ISO: 6x10-6 CF: 6x10-7 ISO: 6x10-7 CF: 6x10-8 ISO: 6x10-7 CF: 6x10-8
Входной фланец ISO63, CF63 ISO100, CF100 ISO160, CF160 ISO160, CF160 ISO160, CF160
Выходной фланец KF16 KF25 KF40 KF40 KF40
Подшипники Керамические Керамические Керамические Керамические Керамические
Частота вращения ротора, об/мин 51000 42300 24000 36000 36000
Время запуска, мин 1,5 2 5 6 4
Уровень вибрации, мкм 0,1 0,1 0,1 0,1 0,1
Рекомендуемый форвакуумный насос, л/с 0,8-2 2 4-8 4-8 4-8
Положение установки Любое Любое Вертикальное +-5о Вертикальное +-5о Любое
Тип охлаждения Водяное/воздушное Водяное/воздушное Водяное Водяное Водяное
Смазка Консистентная Консистентная Масло Масло Консистентная
Диапазон рабочих температур, оС 5-40 5-40 5-40 5-40 5-40
Масса, кг 3,5 (ISO), 4,8 (CF) 6 35 29 19

Наименование FF-200/1200EFF-200/1300EFF-250/1500EFF-250/1600E
Скорость откачки, л/с 1200 1300 1500 1600
Степень сжатия 109 (N2) 6x103(H2) 109 (N2) 6x103(H2) 108 (N2) 5x103(H2) 108 (N2) 5x103(H2)
Предельное давление, Па ISO: 1x10-7 CF: 1x10-8 ISO: 6x10-6 CF: 6x10-7 ISO: 6x10-6 ISO: 1x10-6
Входной фланец ISO200, CF200 ISO200, CF200 ISO250 ISO250
Выходной фланец KF40 KF40 KF50 KF50
Подшипники Керамические Керамические Керамические Керамические
Частота вращения ротора, об/мин 27000 24000 21000 27000
Время запуска, мин 6 6 8 8
Уровень вибрации, мкм 0,1 0,1 0,1 0,1
Рекомендуемый форвакуумный насос, л/с 15 15-18 15-18 18
Положение установки Вертикальное +-5о Любое Вертикальное +-5о Вертикальное +-5о
Тип охлаждения Водяное Водяное Водяное Водяное
Смазка Масло Консистентная Масло Масло
Диапазон рабочих температур, оС 5-40 5-40 5-40 5-40
Масса, кг 39 29 60 47

Наименование FF-250/1800EFF-250/2000EF-400/3500EF-400/3600E
Скорость откачки, л/с 1800 2000 3500 3600
Степень сжатия 108 (N2) 5x103(H2) 109 (N2) 6x103(H2) 108 (N2) 5x102(H2) 107 (N2) 5x102(H2)
Предельное давление, Па ISO: 1x10-6 ISO: 1x10-6 ISO: 1x10-6 ISO: 1x10-6
Входной фланец ISO250 ISO250 ISO400 ISO400
Выходной фланец KF50 KF50 ISO100 ISO100
Подшипники Керамические Керамические Керамические Керамические
Частота вращения ротора, об/мин 27000 24000 13500 15300
Время запуска, мин 8 8 18,8 15,5
Уровень вибрации, мкм 0,1 0,1 0,5 0,5
Рекомендуемый форвакуумный насос, л/с 18 18 30 30
Положение установки Любое Любое Вертикальное +-5о Вертикальное +-5о
Тип охлаждения Водяное Водяное Водяное Водяное
Смазка Консистентная Консистентная Масло Масло
Диапазон рабочих температур, оС 5-40 5-40 5-40 5-40
Масса, кг 42 32 136 130