Вакуумная арматура – это комплект вспомогательных, обычно типовых устройств вакуумной системы. Требования, предъявляемые к Вакуумной арматуре: весьма высокая герметичность всех её деталей и соединений и очень малое отделение газа с её стенок и уплотнителей. К Вакуумной арматуре относятся: клапаны запорные и регулирующие с ручным (КВР), электромеханическим (КВЭ), электромагнитным (КВМ), гидравлическим или пневматическим приводом; затворы для перекрытия проходов с большим поперечным сечением (ЗВЭ), с теми же видами привода; натекатели клапанного и игольчатого типов, служащие для точного дозирования весьма малых количеств газа, или трубчатого типа, открывающие проток газа при нагревании капиллярной трубки; вводы электроэнергии, охлаждающей воды или жидких газов; окна смотровые для наблюдения за процессами в вакууме и для вывода различных видов излучения; некоторые виды устройств для передачи в вакуумные объёмы механического движения и др. К Вакуумной арматуре также причисляют механические вакуумметры (остальные их типы, ввиду многообразия и сложности, составляют самостоятельную область вакуумной техники. Вакуумметры и КИП).
      Соединения Вакуумной арматуры низкого вакуума уплотняются прокладками из вакуумной резины, подвижные штоки — сальниковыми устройствами специальной конструкции. В системах высокого и сверхвысокого вакуума для подвижных штоков обычно применяются сильфоны, отделяющие приводной механизм от вакуумного объёма. Прокладки для Вакуумной арматуры сверхвысокого вакуума делают из специальных сортов термостойкой резины, некоторых видов пластмасс или из пластичных металлов.
     Для уплотнения различных соединений вакуумного оборудования с вакуумной арматурой используются специальные Вакуумные смазки.

Фото	Характеристики модели	Произв-во
Клапаны вакуумные с ручным приводом КВР
	Вакуумный клапан с ручным приводом КВР-25 Диапазон давления от 1х10-5 до 5х105 Па (от 7,5х10-8 до 3,8х103 мм рт.ст.). Температура рабочей среды: 1-400С. Корпус - сталь 08ПС	Россия
	Вакуумный клапан с ручным приводом КВР-63 Диапазон давления от 1х10-5 до 5х105 Па (от 7,5х10-8 до 3,8х103 мм рт.ст.). Температура рабочей среды: 1-400С. Корпус - сталь 08ПС	Россия
	Вакуумный клапан с ручным приводом КВР-100 Диапазон давления от 1х10-5 до 5х105 Па (от 7,5х10-8 до 3,8х103 мм рт.ст.). Температура рабочей среды: 1-400С. Корпус - сталь 08ПС	Россия
	Вентиль запорный ручной -для насосов серии 2В Диапазон давлений до 1x10-3 Па Температура рабочей среды: 1-400С Материал-латунь	США
Клапаны вакуумные с электромеханическим приводом КВЭ
	Вакуумный клапан с электромеханическим приводом КВЭ-25 Диапазон давления от 1х10-5 до 1,07х105 Па (от 7,5х10-8 до 800 мм рт.ст.)	Россия
	Вакуумный клапан с электромеханическим приводом КВЭ-63 Диапазон давления от 1х10-5 до 1,07х105 Па (от 7,5х10-8 до 800 мм рт.ст.).	Россия
	Вакуумный клапан с электромеханическим приводом КВЭ-100 Диапазон давления от 1х10-5 до 1,07х105 Па (от 7,5х10-8 до 800 мм рт.ст.).	Россия
Вакуумные клапаны с электромагнитным приводом КВМ
	Вакуумный клапан с электромагнитным приводом КВМ-25 Диапазон давления от 1х10-5 до 1,07х105 Па (от 7,5х10-8 до 800 мм рт.ст.). Температура рабочей среды: 1-400С	Россия
	Вакуумный клапан с электромагнитным приводом КВМ-63 Диапазон давления от 1х10-5 до 1,07х105 Па (от 7,5х10-8 до 800 мм рт.ст.). Температура рабочей среды: 1-400С	Россия